| 具有馈送电磁波信号的样品架的扫描探针显微镜 |
| US17413662 2019-12-13 发明申请 |
| 2022-3-10 |
| 一种扫描探针显微镜，包括具有至少一个电端口的保持器，其中所述保持器被配置为支撑待成像的样品。 所述扫描探针显微镜还包括探针和致动器，所述致动器被配置为将所述保持器和所述探针中的至少一个移动至多三个方向。 所述扫描探针显微镜还包括反射计，所述反射计被配置为通过向所述保持器的所述至少一个电端口中的每一个馈送电磁波信号来测量所述保持器的所述至少一个电端口中的每一个处的反射和/或透射系数。 |
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