| 轮廓测定仪， |
| JP2005204212 2005-7-13 发明申请 |
| 2007-2-1 |
| 要解决的问题 : 以提供一轮廓测定仪，能够精确地和容易地测量所述的顶部位置的一个对象要测量的。溶液 : 该轮廓测定仪1测量该待测物体W的表面轮廓从所述的位移一在该高度探测传感器13所述对象扫描期间W的方向相对扫描的所述探针传感器13以所述对象W保持所述探针传感器13在与所述表面接触的所述对象W的所述轮廓测定仪被提供有一位移量测量装置用于测量所述探针的所述位移量传感器13在所述高度方向和一种基于波形的波形产生装置，用于产生一个利萨茹利萨茹在所述输出信号从所述位移量测量装置。版权 : (C)2007，inpit |
微信公众号