| XY级 |
| JP2005363316 2005-12-16 发明申请 |
| 2007-6-28 |
| 要解决的问题 : 具体化的一个XY台可位置-控制的多个滑块的部分在任意位置。所述相同的台板上不施加任何限制在所述杆的反射镜的尺寸。溶液 : 该XY平台，用于二维位置-控制所述四边形该四边形的台板上的滑块部，被设置与所述杆至少三个侧面上设置反射镜进行的所述滑块的每个所述的四个边部和一多个激光干涉仪的沿至少两个侧面进行固定地设置所述四个侧面的所述压板的用于接收激光束施加到所述杆的反射镜反射的光。版权 : (C)2007，inpit |
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