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一种超表面物镜及其聚焦方法、荧光显微镜
CN202111485812.6 2021-12-7 发明申请
2022-3-8
本发明涉及光学元件领域,具体涉及一种超表面物镜及其聚焦方法、荧光显微镜。超表面物镜设置有超表面结构;超表面结构包括若干重复单元和衬底,若干重复单元设于衬底上且呈周期性排布;重复单元为亚波长微纳结构且用于在衬底上产生等离子耦合共振;衬底具备柔性且用于控制等离子体耦合共振的动态可调。本发明所制备的超表面物镜尺寸非常小,有利于集成,荧光显微镜结构简单,步骤易行,可操作性强。
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