| 激光外差干涉仪 |
| JP2011265478 2011-12-5 发明申请 |
| 2013-2-14 |
| 要解决的问题 : 以提供一激光外差干涉仪，其准确地消除了任何死路径的影响从一干涉测量的结果。溶液 : 一激光外差干涉仪包括一分支单元80，其分支一束从一个外差激光束源10，并产生一个测量光束B1和一个参考光束B2，一个偏振光束分束器30将所述测量光束B1和所述参考光束B2，1\/4波长板31和32设置在测量路径lp1和lp2，测量反射镜341和342固定到一个可移动的测量对象50和与测量光束照射b11和B12，反射镜411和412设置在所述所测量的反射镜341和342附近和照射与参考光束b21和b22，和一个算术电路70，其基于从两个节拍信号计算一位移在与其中所述的光反射从所测量的光反射镜341和342与其干扰和光反射的光从所述反射镜411和412。所述分支单元80具有连续变化的调整装置，其进行调整的所述之间的发光量比所述测量光束B1和所述参考光束B2。版权 : (C)2013，inpit |
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