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所述三维坐标测量机
JP2016200311 2016-10-11 发明申请
2017-2-9
[问题]简单,高精度三坐标测量机可在较低的生产成本。所述底座(11)移动的移动机构设置在所述测量探头31,60,70,使用80[解决方案]51,基于三坐标测量机测量测量对象11,所述移动机构上,在一侧,相对于基部70和可动部件,它有直线导轨,另一种,平行于所述气浮直线导轨移动机构(80),三维坐标测量装置。图[图5]
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