| 激光干涉仪 |
| JP2021089492 2021-5-27 发明申请 |
| 2022-12-8 |
| 挑战：提供一种与被测定元件的振动条件无关地能够更正确地解调来自测定对象的多普勒信号的激光干涉仪，解决手段是：具备射出激光的光源、将从光源射出的激光分割为第一光路和第二光路的光分割器、以及设置于第一光路或第二光路的光调制器，具备通过电流而振动的振荡器，利用振动元件对激光进行调制； 解调电路，用于基于所述基准信号和调制信号对从所述测量对象导出的多普勒信号进行解调，并将流过所述振动振子元件的电流的振幅值设为Iq[A]，在所述振动元件的振动频率为f[Hz]的情况下，所述激光干涉仪满足Iq/f彡1×10-7.[选择图]图1 |
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