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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

光学轮廓仪

US15581009 2017-4-28 发明申请

2017-11-2

一种系统，包括光源和配置成接收和保持用于测量的样品的保持装置。该系统包括检测器。光路将光源、存在时的样品和检测器之间的光耦合。光学物镜被配置成当存在时将来自光源的光耦合到样品，并且将反射光耦合到检测器。控制器被配置成当存在时自动控制由光学物镜引导到样品的光的聚焦和/或光束路径。所述检测器被配置成当存在时输出表示所述样品的膜厚度和表面轮廓的数据。