| 气体分析仪 |
| US13552437 2012-7-18 发明授权 |
| 2015-4-14 |
| 一种气体分析器，能够在不使用压力传感器和气体温度传感器中的一个或两个的情况下检测测量环境的异常。 气体分析器根据施加到用于测量扩散量W的气体上的激光束的透射光强度产生吸收光谱，并将扩散量与阈值D进行比较。如果待测气体的压力落在高真空区域内，吸收光谱的扩散量不依赖于压力，如果待测气体的压力高于高真空区域，吸收光谱的扩散量随着压力的增加单调增加。 因此，如果w>d，则确定测量环境不形成高真空区域并且异常被传输到外部。 在所有其它情况下，测量环境被认为形成高真空区域，并计算分压。 |
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