| 具有未对准误差校正算法的反射傅立叶PTYCHOGRAPHY显微镜 |
| KR1020200110361 2020-8-31 发明申请 |
| 2022-3-8 |
| 本发明涉及一种能够校正对准误差的反射式FPM以及使用该反射式FPM的校正方法。 更具体地，反射式FPM包括：第一照明器，其包括多个LED光源，并且具有第一面板，所述第一面板包括第一LED阵列，所述第一LED阵列通过穿透物镜以不同的角度向测量对象顺序地辐射多个第一LED光束； 第二照明器，其包括多个LED光源，并且具有第二面板，所述第二面板包括第二LED阵列，所述第二LED阵列在由所述第一照明器照射之后以不同的角度向所述测量对象顺序地照射多个第二LED光束； 聚光透镜，其被形成为收集从所述第一LED光束和所述第二LED光束已经照射到的所述测量对象发出的光束； 光检测器，接收来自聚光透镜的光并获取多个第一光束和第二光束中的每一个的图像； 以及对准误差测量单元，设置在所述第一照明器与所述物镜之间，以获取通过所述第一照明器照射到所述测量对象的图像以形成在所述物镜的后焦面上，并基于所获取的后焦面图像测量所述第一照明器的对准误差(x1、y1、θ 1)。 |
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