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一种白光干涉光学轮廓仪

CN200910061658.2 2009-4-14 发明申请

2010-1-13

本发明公开了一种白光干涉光学轮廓仪，包括垂直方向宏微二级驱动及位移计量装置、白光干涉位移传感器和万能工作台。白光干涉位移传感器固定在驱动及位移计量装置上，驱动及位移计量装置固定在立柱上，立柱固定在隔振台面上；万能工作台放置在隔振台面上；本发明的基于白光干涉和垂直扫描技术的大量程三维光学轮廓测量仪由伺服电机和压电陶瓷分别实现粗精二级驱动，带动白光干涉位移传感器做整体运动，在垂直位移中加入伺服电机可以扩大测量范围，垂直扫描由压电陶瓷驱动实现。宏微位移由同一套衍射光栅计量系统进行位移计量。该轮廓仪可以自动找干涉条纹，实现大量程、非接触测量平面和曲面的三维轮廓，具有测量精度高、测量量程大、成本低等特点。