| 一种扫描电镜低温样品台 |
| CN202111247177.8 2021-10-26 发明申请 |
| 2022-3-4 |
| 本发明涉及扫描电镜技术领域，公开了一种扫描电镜低温样品台，包括样品台本体，所述样品台本体上贴合安装有样品载台，所述样品台本体中设有冷却通道，所述样品台本体中安装有温度传感器。通过温度传感器位置的优化布置，即：将温度传感器设置在样品台组件内，与样品载台间接紧密接触，可使测得温度即为样品实际温度，误差在±1℃以内。通过间隙调节组件的设置，有效防止因为频繁上下样品导致的两者之间的配合间隙增大，这也为准确测量样品的实际温度提供了重要保障。本发明通过曲折密集的冷却通道的设计，大大提高了冷却氮气与样品台本体之间的换热效率，由此可实现3分钟以内从室温降至?175℃。 |
微信公众号