| 可消除非线性的外差激光干涉仪 |
| CN201210243878.9 2012-7-16 发明申请 |
| 2012-11-7 |
| 本发明涉及一种可消除非线性的外差激光干涉仪。它包括双频激光器、非偏振分光镜、偏振分光镜、三个1/4波片、两个角反射镜、两个偏振片、两个光电探测器、相位卡、工控机、驱动器、直流伺服电机和编码器。当测量反射镜位置的变化使得两干涉臂光程差变化ΔL时，由相位卡测得的相位差信号Δφ与光程差ΔL存在非线性关系。工控机根据采集到的相位差信号控制直流伺服电机使可转动的偏振片按一定方向旋转，直到相位差数值数显示为零，电机停止转动。这时由编码器测出偏振片转过的角度，由此可得出测量反射镜不包含非线性的实际位移。本发明可用于纳米级位移的测量。 |
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