| 用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪 |
| CN201510589812.9 2015-9-16 发明申请 |
| 2015-12-30 |
| 用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪属于光学检测领域，目的在于解决现有技术存在的摆臂轮廓仪测量大口径光学元件面形时臂长过长导致检测精度下降的问题。本发明的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪包括悬挂装置、连接件A、气浮转台、连接件B、测量臂、配重件、连接件C和位移传感器；所述的气浮转台通过连接件A与悬挂装置悬挂连接；所述测量臂通过连接件B与气浮转台固定；所述的测量臂的一端通过连接件C固定位移传感器的测头；另一端设置有配重件。本发明的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪可以提高摆臂轮廓检测的精度及检测稳定性。 |
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