| 用于半导体光刻的光源灯室以及设备机柜 |
| CN201510268951.1 2015-5-24 发明申请 |
| 2017-1-4 |
| 本发明通过将汞灯两极浸入在冷凝液中，同时隔热罩内填充冷凝液，冷凝液吸收热量使得蒸发为气体，并被分别排至第一冷凝器和第二冷凝器，被冷凝为液体传输回汞灯继续用于散热，本发明是用冷凝液吸收汞灯所散发的热量转化为气体，方法简单有效，能够使冷凝液循环利用，散热充分。此外将与阳极蒸气管和阳极回液管道连接的冷凝器或者换热器放置于设备机柜内的第一腔室内，排入第一腔室内的空气吸收冷凝器或者换热器中气体冷凝为液体时所散发的热量从而温度升高至正常工作温度，被排至工件台、激光干涉仪周围，使得工件台与激光干涉仪的工作环境温度恒定，节约了成本。 |
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