| 全反射显微镜 |
| WOUS21048244 2021-8-30 发明申请 |
| 2022-3-3 |
| 描述了与全反射显微镜相关的装置，系统和方法。 显微镜包括全反射离轴光学系统，其特征在于色差基本为零，低群时延色散和没有中心模糊。 一种反射显微镜结构包括具有至少三个反射镜的反射物镜部分，其中至少一个反射镜是离轴的且是非球形的。 反射显微镜还包括反射中继子部分，该反射中继子部分具有至少两个反射镜，该反射镜具有自由曲面并且被定位成接收来自反射物镜子部分的光。 反射中继子系统被配置为产生放大倍数以允许在具有不同光束尺寸的两个平面之间的光耦合。 所述反射显微镜还包括成像子部分，所述成像子部分具有至少一个具有自由曲面的反射镜，所述反射镜被定位成接收来自所述反射中继子部分的光并将其上接收的光引导为朝向传感器的方向的反射。 |
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