| 一种用于扫描电镜拍摄硅基负极材料的定位处理方法 |
| CN202111236040.2 2021-10-22 发明申请 |
| 2022-3-1 |
| 本发明公开了一种用于扫描电镜拍摄硅基负极材料的定位处理方法，首先在扫描电镜样品台上粘接双面导电胶带，然后将硅基负极材料的待扫描样品粘接于双面导电胶带的上表面，待扫描样品完全覆盖双面导电胶带，且双面导电胶带留有未粘接环形区域，最后在待扫描样品的边缘处固定导电式边缘封闭件，导电式边缘封闭件将待扫描样品的边缘部分进行封盖，且导电式边缘封闭件粘接于待扫描样品外周、双面导电胶带的未粘接环形区域上。本发明在不损伤待扫描样品本身，不影响待扫描样品自身表面形貌下得到清晰的扫描电镜图片，为分析硅基负极材料性能提供可靠的依据。 |
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