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实现扫描电子显微镜变焦扫描的成像方法
CN202010900720.9 2020-8-31 发明申请
2022-3-1
一种实现扫描电子显微镜变焦扫描的成像方法,包括:使电子束依次聚焦在待测样品的不同区域,分别对整个视场区域进行扫描成像得到多幅图像,所述多幅图像分别包含对应于不同聚焦区域的不同清晰图像区域;提取所述多幅图像中的清晰图像区域并合成为包含所有清晰图像区域的清晰图像。本发明可以避免丢失关键信息,提高检测结果的准确性。
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