| 用于压痕仪的压痕头 |
| CN202311050486.5 2023-8-18 发明申请 |
| 2024-2-23 |
| 本发明涉及用于压痕仪的压痕头。一种用于压痕仪的压痕头系统包括：压头尖端，其适配成至少沿着压痕轴线与样本的表面接触；参考元件，其布置成支承压头尖端；零位传感器，其布置成输出指示在沿着压痕轴线考虑的情况下压头尖端是否相对于参考元件从中立相对位置移位的信号；弹性元件，其连接在压头尖端与具有已知伸长度的致动器之间，致动器连接至参考元件；控制器，其适配成从零位传感器接收信号，以基于零位传感器的输出和致动器的已知伸长度按照使得零位传感器输出与压头尖端从中立相对位置的大致零位移相对应的信号的方式来执行致动器的伺服控制，控制器还适配成基于位移传感器的输出和弹性元件的弹性系数来计算由压头尖端施加至样本的力。 |
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