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激光干涉仪具有参考光束路径和反射镜，其被沿滑块的运动方向线性排列

DE10050749 2000-10-13 发明申请

2001-5-17

参考光束路径(24)和光学路径(22)具有可变长度是沿运动方向延伸的滑块(16)。一反射镜(21)和一显微镜(4)，其检测测量标尺上的标记(5)被固定在桥结构(3)的底座(1)。所述反射镜和参考光束路径被沿滑块的运动方向线性排列。