| 制造-处理设备 |
| EP11171581 2011-6-27 发明申请 |
| 2013-1-2 |
| 一制造-处理设备具有一个平台组件(10)，一个测量反馈组件(20)和一个激光-工作组件(30)。所述平台组件(10)具有一底座(11)和一个混合移动平台与一长冲程移动台(12)和一个压电驱动的微级(13)。所述底座(11)具有一安装框架(111)。所述的压电驱动的微级(13)被连接到所述长冲程移动台(12)和具有一工作平台(19)。所述测量反馈组件(20)被安全地安装在所述平台组件(10)和具有一个激光干涉仪(21); 一反射装置(22)和一种信号接收装置(23)。所述激光工作组件(30)被安装在所述平台组件(10)，是电连接到所述测量反馈组件(20)和具有一个激光直写头(31)，一控制接口装置(32)和一定位接口装置(33)。 |
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