| 一种显微镜的锁焦探测系统和方法 |
| CN202110207781.1 2021-2-25 发明申请 |
| 2022-3-1 |
| 本发明公开了一种显微镜的锁焦探测系统和方法，该方法包括，锁焦探测模组探测物镜和样品之间距离的变化量，并将距离的变化量发送至锁焦控制器，锁焦控制器输出移动距离至Z轴位移器，Z轴位移器移动距离带动物镜1进行移动，将物镜和样品的间距保持在预设的焦距值内。本发明抛开横向放大率作为光学尺寸的放大，采用轴向放大率作为光学放大率，将轴向放大率测量出来，轴向放大率会正比于横向放大率的平方，做到更加精密的探测。 |
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