| 样品接入装置及扫描电镜 |
| CN202111564201.0 2021-12-20 发明申请 |
| 2022-2-25 |
| 本申请公开了一种样品接入装置，包括：承载装夹组件，用于承载样品；装夹台组件，拆卸式容纳承载装夹组件；定位组件，设置在装夹台组件上，当承载装夹组件推进装夹台组件内时，定位组件对承载装夹组件进行定位；当承载装夹组件退出装夹台组件时，定位组件对承载装夹组件解除定位。本申请提供的样品接入装置，将承载装夹组件推进装夹台组件的同时，定位组件对承载装夹组件进行定位，实现了样品在扫描电镜的观察腔室内的固定；将承载装夹组件退出装夹台组件的同时，定位组件对承载装夹组件解除定位，进而实现了样品在扫描电镜的观察腔室内的拆除；上述结构使用快捷、方便、可靠、易于操作、省时省力，整个设计即保证了功能实现又提升了作业效率。 |
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