| 用于压痕仪器的压痕头 |
| EP22191197 2022-8-19 发明申请 |
| 2024-2-21 |
| 用于压痕仪器(100)的压痕头系统(1)，包括：-适于沿着至少压痕轴线(A)与样品(5)的表面接触的压痕尖端(3); -基准元件(9)，所述基准元件被布置成支撑所述压头尖端(3)。 根据本发明，所述压痕头系统(1)还包括：零位传感器(17)，其被布置成输出指示所述压痕尖端(3)是否相对于所述基准元件(9)从中性相对位置移位的信号，所述中性相对位置被认为是沿着所述压痕轴线(A); -弹性元件(19)，所述弹性元件连接在所述压头尖端(3)和具有已知伸长率的致动器(21)之间，所述致动器(21)连接到所述基准元件(9)； -控制器(25)，其适于从所述零水平传感器(17)接收信号，以基于所述零水平传感器(17)的输出和所述致动器(21)的所述已知伸长来执行所述致动器(21)的伺服控制，使得所述零水平传感器(17)输出对应于所述压头尖端(3)从所述中性相对位置的基本上为零的位移的信号， 所述控制器还适于基于所述位移传感器(23)的输出和所述弹性元件(19)的弹性系数(k)计算由所述压头尖端(3)施加到所述样品(5)的力。 |
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