| 原子力显微镜 |
| CN202122405677.1 2021-9-30 实用新型 |
| 2022-2-25 |
| 本实用新型提供了一种原子力显微镜，包括：光杠杆检测模块，光杠杆检测模块包括非相干光源、准直镜、反射镜和光电探测器组件；扫描器模块，扫描器模块包括会聚透镜、反射面、微悬臂梁探针和扫描器组件，会聚透镜、反射面和微悬臂梁探针均设置在扫描器组件上；非相干光源发出的光通过准直镜进入会聚透镜，通过会聚透镜的光被反射面反射至探针的微悬臂梁上，微悬臂梁反射光经反射面返回会聚透镜，然后再通过反射镜进入光电探测器组件。本实用新型解决了现有技术中原子力显微镜在检测的时候由激光干涉现象引起的噪声问题。 |
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