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一种衍射光栅尺

JP2013158513 2013-7-31 发明授权

2018-1-24

一种衍射光栅尺，包括透明基板和层叠在透明基板上的树脂层。在树脂层上，在长度测量方向上形成周期性的凹凸图案，并且N2>N1，其中N1是透明基板的折射率，N2是树脂层的折射率。