| 圆盘谐振器 |
| KR1020140091356 2014-7-18 发明授权 |
| 2015-2-9 |
| 本发明涉及一种圆盘谐振器可应用于生物传感器，一种气体传感器，压力传感器和高频滤波器。特别地，所述圆盘谐振器包括 : 光盘安装有第一电极，其中偏置电源输入；电极单元由弹性材料制成。一个牵引装置，其包括电容盘和所述电极单元之间存在的间隙以及拖曳所述电极单元通过静电力电容盘之间的间隙最小化所述电极单元；和限制单元，用于限制向所述盘的所述电极单元的最大活动。根据本发明，借助于牵引装置上，所述盘和所述电极之间形成电容间隙减少机组共振器操作的同时，使生产间隙大，运行间隙被最小化。因此，可以容易地检测信号。与现有技术相比，纳米单元几百的间隙可生产即使具有结构简单，成本低。 |
微信公众号