| 原子力显微镜 |
| US16996403 2020-8-18 发明申请 |
| 2022-2-24 |
| 一种基于原子力显微镜(“AFM”)的干涉仪，使用光源和分光光学接口，将光束分成信号光束和参考光束。 信号光束和参考光束都聚焦在AFM悬臂附近。 光束位移器在信号光束和参考光束之间引入横向位移， 横向位移使得， 在光束位移器和聚焦透镜结构之间的至少一个平面中，信号光束的中心与参考光束的中心在该平面上分开它们的光束直径之和的一半以上。 检测器操作以确定信号光束和参考光束之间的光程长度差，从而确定关于悬臂的运动的信息。 |
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