| 激光干涉仪。 |
| NL2003134 2009-7-3 发明授权 |
| 2010-3-16 |
| 激光干涉仪，包括激光光源提供至少一个光束在两个不同频率，分束器，用于将至少一束光分成参考和测量光束，第第一反射镜和第二反射镜反射的参考和测量光束，和至少一个检测器，用于检测所述干扰相关的信号的反射参考和测量光束。激光光源提供第一和第二在空间上分开的光束，第一光束具有一种第一的所述两个不同的频率和第二光束具有第二的所述不同频率。进一步的分束器将第一和第二光束分为第一和第二空间分开的参考光束的旅行第一反射镜，并进入第一和第二空间分开的测量光束行走至第二反射器。一个第一和第二反射镜设置成使反射的第一测量梁分担了至少部分行驶路径上的第二反射后的参考光束并反射第二测量梁分担了在行走路径的至少一部分与第一反射后的参考光束。 |
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