| [vibrochastotnyy]微机械加速度计 |
| RU2010106911 2010-2-24 发明申请 |
| 2011-8-27 |
| 1。所述[vibrochastotnyy]微机械加速度计，其包含所述基座层从所述介电材料，所述支撑元件，固定超过所述基座层，所述的惯性质量，位于与所述间隙相对于所述基极层和连接用于所述的缘故所述支撑元件通过所述弹性元件，所述的位移的惯性质量和所述测量系统，其包含移动和固定电极，使其特征在于，所述的事实，它是提供用于附加的支撑元件的所述的缘故和谐振器，位于与所述间隙相对于所述基座层，基于一个上侧固定到所述的惯性质量; 和基于所述另一侧到所述附加的支撑元件上，所述的位移和所述的测量系统的惯性质量是所述形成所述的静电系统中执行所述的激励-注册所述谐振器的波动，移动电极它是谐振器的。!2。[vibrochastotnyy]上的微机械加速度计[P]。1，其特征是所述的惯性质量被执行之前通过所述的事实所述中心开口，其之前被位于支撑元件和附加的支撑元件。 |
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