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锚定到阵列设计的扫描电子显微镜图像

WOUS21046192 2021-8-17 发明申请

2022-2-24

扫描电子显微镜从光学检查系统接收晶片的结果文件。结果文件包括晶片上的锚点。使用扫描电子显微镜产生晶片上锚点处的缺陷检查图像。设计剪辑在定位点处与缺陷检查图像对齐，由此产生对齐的缺陷检查图像。对准的缺陷检查图像用于缺陷检测。