产业专利数据
 
激光干涉仪
 
RU2016145287  2016-11-18  发明授权
2018-2-15
 
  领域 : 测量设备的方法。激光干涉仪包括相干单色光辐射源，准直器，分束器分离的光束分成物光束和参考光束。声光调制装置安装在参照和物体光束。所述参考光束和从所述研究对象反射的光束被引导至共用受光元件。该干涉仪包括可调的发电机信号延时线，它是由阶梯的形式移相器中。效果 : 提高了测量精度和噪声immunity.4Cl，7的双层管
 
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