| 一体化微机械陀螺仪加速度计 |
| RU2016144230 2016-11-10 发明授权 |
| 2018-3-30 |
| 领域 : 测量设备的方法。本发明涉及一种测量设备和微系统，更具体地涉及整体式测量元件的角速度和加速度。本发明的香精，其特征在于所述集成微机械陀螺仪加速度计还含有四个活动电极的电容式位移传感器，八个另外的固定电极的电容式位移传感器，四个附加的静电致动器的可动电极，静电驱动的九种附加的固定电极，八“S”形的弹性梁系统，半导体材料制成的并位于相对于所述基板有一缺口，八“U”形弹性梁系统，半导体材料制成的并位于相对于所述基板有一缺口，和21的附加的支柱直接由半导体材料形成并且定位在基板上，所述两个惯性质量块设有穿孔，与衬底电极和固定电极的电容式位移传感器由半导体材料制成的。效果 : 技术效果是测量沿X轴和Y轴的角速度值，位于所述衬底的平面，和Z轴方向，朝向垂直于平面的基板，和沿闸板的直线加速度值，Y，和Z axes.1Cl，2的双层管 |
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