| 用于确定表面轮廓的几何参数激光轮廓仪 |
| RU2016151930 2016-12-27 发明授权 |
| 2018-4-17 |
| 领域 : 测量设备的方法。本发明涉及一种测量设备，具体涉及一种光学非接触的表面轮廓测量装置，可用于测量参数的不均匀，表面粗糙度，例如，在道路表面，金属表面形状复杂的制品。激光显微光波干涉仪用于确定表面轮廓的几何参数，包括 : 一激光源的激光束对线转换器，光接收器矩阵反射的辐射和信息处理装置。激光光源在形成半导体激光器工作在脉冲方式的具有集成的温度稳定系统。反射光束的过程中，至少一个窄带干涉滤光片的光矩阵之前引入接收器。此外，半导体激光器工作在可见的红色波长范围内使用，温度稳定系统是基于珀尔帖元件与控制器和温度传感器。效果 : 通过减少误差的测量精度提高的同时简化轮廓测定仪design.4Cl，1的双层管 |
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