| 双波激光位移计 |
| RU2020119854 2020-6-8 发明授权 |
| 2021-2-9 |
| 领域:测量技术。 物质:本发明涉及测量技术,即激光干涉测量。 本发明可以高精度地测量未知温度分布的物体的线性位移。 该激光位移计包括一个光学连接并顺序定位的用于形成激光辐射的单元,一个非偏振分束器,两个参考臂和测量臂的角反射器,一个接收装置和一个电子计算单元。 该装置使用两种波长的辐射源,在参考臂的角反射镜上加装伪随机激励的压电作动器,在接收装置前加装光谱分束器。 该接收装置被制成两个节点的形式,每个节点由偏振分束器和两个光电探测器组成。 效果:本发明提供了简化测量的可能性,并降低了对它们的操作条件的要求。 1Cl,1DWG |