| 激光干涉仪 |
| WONL09050541 2009-9-9 发明申请 |
| 2010-3-18 |
| 激光干涉仪包括一个激光光源提供至少一个光束在两个不同的频率，一分束器用于分离所述至少一个光束为参考和测量光束，第第一反射器和一个第二反射器用于所述参考和测量光束的反射，和至少一个检测器用于检测所述干扰信号的有关以所反射的参考和测量光束。所述激光光源提供第一和第二的光束被空间分离的和第一的光束所述两个不同的频率具有一第一和第二所述不同频率的光束具有一第二。进一步所述分光器将第一和第二的光束成第一和第二在空间上分开的参考光束行走到第一反射器，和为第一和第二在空间上分开的测量光束行进到第二反射器。一个第一和第二的反射器被设置以使所述反射第一的测量光束份在一行走路径的至少一部分与第二反射的反射参考光束和使所述第二测量光束份至少部分的一个反射参考光束与第一行进路径。 |
微信公众号