| 半导体基片自动测试设备 |
| CN201110175122.0 2011-6-27 发明申请 |
| 2011-12-21 |
| 本发明为一种半导体基片自动测试设备，包括主控计算机、伺服驱动系统、机械手、X向工作台、Y向工作台、测试头和信号处理系统，其特征在于：还包括人机交互软件模块、运动控制模块和数据处理模块，各模块之间紧密关联，相互进行数据交换和共享；所述的人机交互软件模块主要实现参数的输入、报警信息的提示；所述的运动控制模块对设备设有的10个马达通过运功控制板卡进行相应的控制，协调各马达的稳定运行，并带有自诊断功能，将出现的异常情况数据实时传输至主屏幕显示；所述的数据处理模块处理激光干涉仪采集的大量数据，并实时传输至主屏幕显示给用户。本发明有效实现了半导体基片生产过程中的机械化和自动化测量。 |
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