| 激光共焦显微镜 |
| JP2020135359 2020-8-7 发明申请 |
| 2022-2-18 |
| “问题”在激光共焦显微镜中，我们将实现光谱干涉法测量薄膜厚度。 [解决手段]激光共焦显微镜包括用激光照射样品SP的激光源61， 光接收单元66，其经由共焦光学系统接收来自样品SP的反射光，并根据反射光的光接收强度产生光接收信号，以及白色光源51，其用白色光照射样品SP； 成像单元58，其基于白光的反射光产生样品SP的照相机图像； 测量单元，其基于光接收信号测量样品SP的表面形状； 光谱仪，其根据每个波长的光接收强度产生光接收信号； 以及光分支单元91a，用于分支来自样品SP的白光的反射光，测量单元是用于基于光接收信号测量样品SP的表面形状的测量单元； 基于光谱仪12产生的光接收信号测量样品SP的膜厚度。 “选择图”图3C |
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