| 白色干涉显微镜 |
| JP2020135360 2020-8-7 发明申请 |
| 2022-2-18 |
| “问题”可以在不使用电动倾斜台的情况下容易地校正测量对象的倾斜。 [解决手段]白色干涉显微镜1捕捉白色光源51， 调整部件，其能够被操作以调整沿相对于载物台的上表面的方向的角度和沿物镜的光轴的角度； 成像单元58，用于成像干涉图像； 以及多个干涉图像，其具有不同的载物台23的相对高度位置， 以及基于所述多个干扰图像， 基于多个干涉图像， 倾斜计算单元8h，用于计算样品SP相对于物镜54的光轴A3的倾斜； 操作量转换单元8i，其基于由倾斜计算单元8h计算的倾斜来计算用于校正倾斜的调节构件25的操作量； 以及显示控制部8b，其进行控制以显示由操作量转换部8i计算出的操作量。 “选择图”图13 |
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