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高精度的干涉测量对象的测量过程使用旋转台和坐标测量机上附加调节到对准测量和激光轴

DE10319711 2003-5-2 发明申请

2004-11-25

一种高精度的干涉测量对象的测量过程使用一旋转(1)，倾斜和与纵向滑动轴机器人调节器(3，10)从一个坐标测量机，以不同的测量位置之间移动所述对象和一个测量反射器(5)上的一个探针(4)，以调整所述的激光轴(9)到该对象的测量轴(11)。