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使用扫描电子显微镜的检查装置中的操作方法

KR1020200100046 2020-8-10 发明申请

2022-2-17

使用根据本发明的扫描电子显微镜的检查装置的操作方法，通过目标和轮廓的布局数据导航拐角位置的步骤，从每个图案顶点提取目标和轮廓之间的间隙，使用提取的间隙导航直线距离的步骤，以及缺陷检查，它可以包括对每个几何形状过滤直线距离的步骤。