| 激光干涉仪 |
| EP23154737 2023-2-2 发明申请 |
| 2023-8-9 |
| 一种激光干涉仪，包括：激光光源，被配置为发射第一激光； 光调制器，包括在与所述第一激光的入射面交叉的方向上产生振动分量的振动元件，并且被配置为通过使用所述振动元件来调制所述第一激光以产生包括调制信号的第二激光； 光接收元件，被配置为接收所述第二激光和第三激光，并输出光接收信号，所述第三激光包括由所述第一激光被物体反射产生的样本信号； 解调电路，被配置为基于参考信号从所述光接收信号中解调所述样本信号； 以及振荡电路，其被配置为使用所述振动元件作为信号源进行操作，并且将所述基准信号输出到所述解调电路。 |
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