| 激光干涉仪 |
| JP2003009100 2003-1-17 发明申请 |
| 2004-8-5 |
| 要解决的问题 : 以验证的平直度沿移动方向的每个中的多个移动体的MX; 我的。溶液 : 该干涉仪是提供具有一平直度干涉仪12用于分离频谱一激光束L从激光振荡器11，一种用于第一分束器21a反射镜21内设置一个用于激光束光学路径L1，L2从所述直线度干涉仪12，一反射镜13和第二反射镜22。所述分束器21a和第一反射镜21被安装在所述移动体MX，第二反射镜22被安装在所述移动体我的，和从第一反射镜21反射的光束和第二反射镜22被制成以达到所述直线度干涉仪12，从而能够以得到干涉光束基于所述移动体的水平方向上移位MX，MY。 |
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