| 长度测量激光干涉仪 |
| JP2004166700 2004-6-4 发明申请 |
| 2005-12-15 |
| 要解决的问题 : 以提供一种容易的可搬运的长度-测量激光干涉仪具有一个简单的结构。溶液 : 该长度测量激光干涉仪是装备有一激光光源; 一个干扰单元11具有一分束器7用于分割激光束为第一和第二激光束18，19涉及第一和第二的回射装置14，16和合成第一和第二所述反向方向中的后向反射和返回的激光束，以便与每个其它干扰，和一个壳体用于存储所述分束器; 和一个用于接收干扰光的光接收装置第一和第二的激光束并产生一个电信号对应的干扰条纹。所述壳体是配备有至少两个参考面具有不同的面方向。所述干扰单元11与第一和第二是配备光束方向调节装置12，13，用于调整所述的发射方向第一和第二的激光束，和所述的发射方向第一和第二的激光光束被调整在所述规定的方向。 |
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