| 整体微机械陀螺仪，加速度计 |
| RU2005128680 2005-9-14 发明授权 |
| 2007-2-10 |
| 字段 : 微系统设备; 测量技术。物质 : 所述的陀螺仪，加速度计可以用于测量角度的速度和加速度。所述的陀螺仪，加速度计具有半导体衬底1。有33不动的电极2-34设置到它，八个支撑件35-42直接设置在基板上，弹性环43设置直接与不动的电极基板上以形成电容器2-33。环是通过装置20的连接与支持四个弹性梁44-67; 环被安装到具有相对基板的间隙。八个弹性梁52-59被制成“L”的形式中，八个弹性梁60-67的是由在形成拱形。装置还具有惯性重量68设置成具有关系到衬底中的间隙; 重量68形成平板电容器与静止电极34。惯性重量的68是连接与支撑件35，37，39和41通过弹性梁69-72的装置。静止电极，弹性环和弹性梁是由半导体材料的角度速度和加速度的值可以被测量的沿Z轴布置在垂直于衬底的表面。效果 : 提高精度的测量; 改进的测量的结果的可靠性。2显示 |
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