| 白光干涉显微镜 |
| US17368952 2021-7-7 发明申请 |
| 2022-2-10 |
| 一种白光干涉显微镜，包括：拍摄干涉图像的成像部分； 激光光源， 光接收部分，其经由共焦光学系统从样品接收激光束的反射光，并产生与反射光的光接收强度相对应的光接收信号； 焦点计算部，其基于载物台或物镜的各高度位置处的受光信号，计算物镜的焦点与试样表面的焦点位置匹配； 焦点调整部，调整载物台或物镜的高度位置，使其与焦点位置一致； 以及第一测量部分，其基于由成像部分在限定在包括焦点位置的高度范围内的多个高度位置处拍摄的多个干涉图像来测量样品的表面形状。 |
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