| 光学测量系统 |
| CN202310967498.8 2022-11-23 发明申请 |
| 2023-11-7 |
| 本公开描述了一种光学测量系统，包括用于获得测量信息的光学测量装置以及配置为接收测量信息并进行拟合的拟合装置，光学测量装置包括照明模块、扫描模块、以及成像模块，照明模块包括用于发射照明光束的光源，照明光束经由扫描模块到达待测物并形成反射光束；扫描模块包括沿照明光束的传播方向设置的扫描单元和显微物镜；成像模块配置为基于显微物镜位于不同位置的反射光束以获得与待测像素点相匹配的正离焦区域、对焦区域、以及负离焦区域的多张图像。根据本公开，能够提供一种提高对待测物的测量精度的光学测量系统。 |
微信公众号