| 用于基于射频脉冲电子束的扫描透射电子显微镜的系统和方法 |
| EP21189151 2021-8-2 发明申请 |
| 2022-2-9 |
| 本文公开了用于脉冲电子束并使脉冲电子束与在多个扫描位置扫描样品同步的系统和方法。 示例性方法至少包括脉冲电子束以形成具有脉冲周期的脉冲电子束， 移动脉冲电子束以在多个位置处与样品相互作用， 在所述多个位置中的每一个上发生的交互作用持续一段停留时间， 以及基于所述脉冲和所述电子束的平移同步所述脉冲电子束与所述样品的相互作用的数据采集，其中所述停留时间基于所述脉冲周期的导数。 |
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