| 一种基于探针光学定位系统的近场光学显微镜 |
| CN202111287873.1 2021-11-2 发明申请 |
| 2022-2-8 |
| 本发明提供一种基于探针光学定位系统的近场光学显微镜，旨在解决对样品的近场光学测量中近场交互的汇聚激发光束存在对准偏差和错误对准的问题，包括近场光学显微镜的设备基体，安装于设备基体上并用于扫描检测样品的近场探针，还包括有：光源系统，用于提供实现近场交互的激发光束；近场光路系统，用于探测和引导实现近场交互的激发光束；至少两个光学定位系统，用于指引激发光束聚焦于探针尖端；探测光路系统，用于探测近场探针与检测样品之间的近场相互作用。本发明尤其适用于快速、简单且可重复的精确调整探针和用于近场交互的汇聚激发光对准，具有较高的社会使用价值和应用前景。 |
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