| 光学检查探针。 |
| EP92307017 1992-7-31 发明申请 |
| 1993-3-17 |
| 一个光学检查探针(10)，用于在一个坐标测量机，包括一个感测模块具有一CCD阵列(18)。和一个成像模块(16)可释放地安装在其上。所述表面上的一个特征是所述的位置使用所述探头测得的通过计算该时间的即时在其一个图像的特征将通过所述阵列的一个预定像素的QC(18)。该计算是相对所述的基础上执行所述探针和所述表面的速度作为确定从两个连续扫描的图像帧的所述CCD阵列(18)。所述探头(10)可以被使用来确定，例如，所述一个表面的一个边缘的位置由与相对于该表面横向移动所述探头或，可被用于测量所述的位置一预定通过将光投射光束的一表面的高度(122)到该表面在一个角度，以所述的光学轴(A)和所述表面上所得到的点测量所述的位置。 |
微信公众号